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本实用新型公开了一种集成电路制造用开孔设备，包括本体机构、开孔固定机构和辅助机构，所述本体机构包括底座和连接于所述底座的调动支架，所述开孔固定机构包括连接于所述调动支架的密封外筒、内置并滑动于所述密封外筒的密封内筒、连接于所述密封外筒的底板...
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