下载高性能双栅LTPO面板结构及制备工艺的技术资料

文档序号:31380279

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本发明公开了高性能双栅LTPO面板结构及制备工艺,基板上端设置有缓冲层,缓冲层上端设置有多晶硅层,缓冲层上端设置有第一栅极绝缘层,且第一栅极绝缘层成膜导电层上设置有第一栅极和驱动电路走线,第一栅极上端设置有第一中间绝缘层,第一中间绝缘层上端...
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