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本发明提供了一种超高纯电子气体吸附剂的活化装置,包括两个支撑底座,支撑底座上有第一反应罐和第二反应罐;第一反应罐的上端面设有密封套环上固定有端盖,端盖与连接管之间设有密封机构;第一反应罐与密封套环之间设有支撑机构,第一反应罐内设有用于对吸附...该专利属于中船重工(邯郸)派瑞特种气体有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过中船重工(邯郸)派瑞特种气体有限公司授权不得商用。
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本发明提供了一种超高纯电子气体吸附剂的活化装置,包括两个支撑底座,支撑底座上有第一反应罐和第二反应罐;第一反应罐的上端面设有密封套环上固定有端盖,端盖与连接管之间设有密封机构;第一反应罐与密封套环之间设有支撑机构,第一反应罐内设有用于对吸附...