下载碳化硅单晶生长用坩埚结构和碳化硅单晶的生长方法的技术资料

文档序号:31378516

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。

本发明公开一种碳化硅单晶生长用坩埚结构和碳化硅单晶的生长方法,坩埚结构包括坩埚主体,设有碳化硅原料腔体和顶部开口;封闭所述顶部开口的坩埚盖,所述坩埚盖底部设置有籽晶;至少布置在碳化硅原料腔体的目标原料位以下的石墨过滤结构,所述石墨过滤结构上...
该专利属于新疆天科合达蓝光半导体有限公司江苏天科合达半导体有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过新疆天科合达蓝光半导体有限公司江苏天科合达半导体有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。