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光声气体传感器装置制造方法及图纸
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下载光声气体传感器装置的技术资料
文档序号:31373455
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提出了一种光声气体传感器装置,用于确定指示气体中组分的存在或浓度的值。该光声气体传感器装置包括基板(1)和布置在基板(1)的第一侧(11)的测量池主体(2)。基板(1)和测量池主体(2)限定了包围测量体积(3)的测量池。测量池包括用于气体进...
该专利属于盛思锐股份公司所有,仅供学习研究参考,未经过盛思锐股份公司授权不得商用。
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