光声气体传感器装置制造方法及图纸

提出了一种光声气体传感器装置，用于确定指示气体中组分的存在或浓度的值。该光声气体传感器装置包括基板(1)和布置在基板(1)的第一侧(11)的测量池主体(2)。基板(1)和测量池主体(2)限定了包围测量体积(3)的测量池。测量池包括用于气体进入测量体积(3)的孔(4)。该装置还包括用于发射电磁辐射(8)的电磁辐射源(7)以及用于测量响应于组分对电磁辐射(8)的吸收而由组分产生的声波(9)的麦克风(6)。电磁辐射源(7)和麦克风(6)布置在基板(1)的第一侧(11)和测量体积(3)中。麦克风(6)具有面向基板(1)的底部端口(61)，并且测量体积(3)与底部端口(61)连通地耦合。(61)连通地耦合。(61)连通地耦合。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】光声气体传感器装置
[0001]对相关申请的交叉引用
[0002]本申请要求于2019年4月17日提交的欧洲专利申请19169966.9的优先权，该欧洲专利申请的公开内容通过引用整体并入本文。


[0003]本专利技术涉及一种光声气体传感器装置，该装置被配置为确定指示气体中组分、特别是CO2的存在或浓度的值。

技术介绍

[0004]光声气体传感器依赖于物理效应，例如红外辐射被气体中例如CO2的感兴趣组分的分子吸收，从而将分子转移到激发态。随后由于激发态的非辐射衰减而产生热量，例如通过分子的碰撞，导致压力增加。通过以调制频率调制要吸收的红外辐射，压力在调制频率上发生变化。这种压力变化可以由压力换能器测量。组分的浓度与压力变化的幅度成比例。
[0005]传统的光声气体传感器尺寸很大，这是由于组分的分子对红外辐射的充分吸收需要长光程长度。此外，传统的光声气体传感器需要测量池、红外源和压力换能器的复杂的三维组件。
[0006]因此，本专利技术的一个目的是提供一种光声气体传感器装置，其尺寸小、组装简单并且同时提供指示气体中组本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】1.一种光声气体传感器装置，用于确定指示气体中组分的存在或浓度的值，该光声气体传感器装置包括：
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基板(1)，
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布置在基板(1)的第一侧(11)上的测量池主体(2)，该基板(1)和测量池主体(2)限定包围测量体积(3)的测量池，该测量池包括用于气体进入测量体积(3)的孔(4)，
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用于发射电磁辐射(8)的电磁辐射源(7)，
‑
麦克风(6)，用于测量响应于组分对电磁辐射(8)的吸收而由组分产生的声波(9)，其中，电磁辐射源(7)和麦克风(6)布置在基板(1)的第一侧(11)上且在测量体积(3)中，其中，麦克风(6)具有面向基板(1)的底部端口(61)，以及其中，测量体积(3)连通地耦合到底部端口(61)。2.根据权利要求1所述的光声气体传感器装置，其中，测量池的尺寸小于2
×2×
2cm3，优选地小于1
×1×
1cm3。3.根据前述权利要求之一所述的光声气体传感器装置，其中，测量池的内表面具有大于70％、优选地大于80％、更优选地大于90％的反射率，特别地，其中测量池主体(2)由板状金属或塑料制成。4.根据前述权利要求之一所述的光声气体传感器装置，其中，测量池主体(2)的内表面和/或基板(1)的一部分涂覆有反射率大于70％、优选地大于80％、更优选地大于90％的反射涂层(21)，特别地，其中反射涂层(21)由金属制成。5.根据前述权利要求之一所述的光声气体传感器装置，其中，反射率在70％以上的测量池的内表面与反射率在70％以下的测量池的内表面的比率在20以上、优选地在50以上、更优选地在100以上。6.根据权利要求4所述的光声气体传感器装置，其中，麦克风(6)的面向测量体积(3)的顶侧(64)由反射材料制成或涂覆有反射涂层(21)。7.根据前述权利要求之一所述的光声气体传感器装置，其中，测量体积(3)与麦克风(6)的底部端口(61)之间的开口(63)的垂直于基板(1)的第一侧(11)的尺寸大于10μm、优选地大于50μm、优选地在10μm与100μm之间、更优选地在50μm与100μm之间。8.根据前述权利要求之一所述的光声气体传感器装置，其中，测量体积(3)与麦克风(6)的底部端口(61)之间的开口(63)由麦克风(6)与基板(1)之间的焊料(62)或间隔物横向地限定。9.根据前述权利要求之一所述的光声气体传感器装置，进一步包括

【专利技术属性】
技术研发人员：T，
申请(专利权)人：盛思锐股份公司，
类型：发明
国别省市：