下载电子发射元件以及电子显微镜的技术资料

文档序号:31373213

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本发明提供一种电子的能量散度窄、电子发射效率优异的电子发射元件以及使用该电子发射元件的电子显微镜。所述电子发射元件具备:第一电极、由绝缘膜构成的电子加速层以及第二电极依次层叠而成的层叠结构,第二电极为供电子透过、从表面发射电子的电极,发射出...
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