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一种高自动调整离子束溅射角和入射角的离子镀装置及方法，它包括真空箱、旋转机构、夹持机构和调整机构，通过真空箱内设置旋转机构、夹持机构和调整机构与离子源位于同一竖直轴线上，夹持机构与转盘连接，调整机构的溅射座位于夹持机构上部，工件被夹持机构夹...
该专利属于湖北三峡职业技术学院所有，仅供学习研究参考，未经过湖北三峡职业技术学院授权不得商用。

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