下载基于锡氧化物和贵金属双纳米粒子点阵氢气传感器及其制备方法的技术资料

文档序号:31372206

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本发明提供了一种基于锡氧化物和贵金属双纳米粒子点阵氢气传感器及其制备方法,所述氢气传感器包括:双纳米粒子点阵氢气气敏膜、嵌有金属微电极的石英玻璃基片、电导测量外电路;本发明采用磁控等离子体聚集法将贵金属和锡纳米粒子沉积到嵌有金属微电极的石英...
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