下载外置注入式等离子设备的技术资料

文档序号:31363896

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本实用新型提供的外置注入式等离子设备,包括反应室、安装组件和等离子组件,反应室的一侧连通有进气管,安装组件包括抽板、空腔、支撑柱、滑动柱和挡杆,反应室内壁的一侧滑动连接有抽板,反应室的内部开设有空腔,空腔内壁的一侧固定连接有支撑柱,支撑柱的...
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