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一种可调节溅射角度的磁控溅射镀膜机制造技术
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下载一种可调节溅射角度的磁控溅射镀膜机的技术资料
文档序号:31354200
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本实用新型公开了磁控溅射镀膜机的一种可调节溅射角度的磁控溅射镀膜机,包括镀膜箱,所述镀膜箱的内顶壁固定连接有第一电机,所述第一电机的输出端固定连接有载物架,所述镀膜箱的右侧壁安装有电子枪,所述镀膜箱的右侧壁转动连接有支撑轴,所述支撑轴的下方...
该专利属于镇江三维真空光学有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过镇江三维真空光学有限公司授权不得商用。
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