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一种高纯度电子级氯化氢生产装置制造方法及图纸
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下载一种高纯度电子级氯化氢生产装置的技术资料
文档序号:31348275
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本实用新型公开了一种高纯度电子级氯化氢生产装置,包括三氯化磷储罐、纯水储罐、反应釜、水洗塔、冷凝器、吸附器、脱轻精馏塔、脱重精馏塔和膜压机,三氯化磷储罐和纯水储罐均连通于反应釜,反应釜通过水洗塔连通于冷凝器,冷凝器通过吸附器连通于脱轻精馏塔...
该专利属于湖北和远气体股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过湖北和远气体股份有限公司授权不得商用。
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