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本实用新型公开了一种真空镀膜设备上的抽拉式离子源机构，包括安装箱，所述安装箱内插槽，所述插槽内设有置物架，所述置物架的两侧外壁上均固定连接有滑板，所述安装箱的两侧内壁上均固定连接有多个导块，多个所述导块上均设有与滑板对应的导槽，所述导块的上...
该专利属于福建国泰光电设备有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过福建国泰光电设备有限公司授权不得商用。

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