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本实用新型提供一种具备倒装结构的垂直腔面发射激光器、垂直腔面发射激光器阵列，所述V C S E L包括衬底、设置于所述衬底之上的第一镜层、设置于所述第一镜层之上的活化层和设置于所述活化层之上的第二镜层，所述第二镜层之上设置钼金属层，所述第二...
该专利属于北京金太光芯科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过北京金太光芯科技有限公司授权不得商用。

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