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本发明公开了一种半导体器件及其制备方法,涉及半导体技术领域,本发明的半导体器件包括基底结构,基底结构具有相对的第一表面和第二表面,第一表面上设有功能结构,第二表面上设有条形凹槽,条形凹槽的延伸方向具有第一端部和第二端部,第一端部在第二表面的...该专利属于深圳市时代速信科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过深圳市时代速信科技有限公司授权不得商用。
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