下载一种电阻加热的物理气相传输法单晶生长炉的技术资料

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本申请提供一种电阻加热的物理气相传输法单晶生长炉,包括:炉体,包括圆筒形侧壁、炉底和炉盖;位于炉体内部的保温层结构,包括圆筒形侧周保温层、下保温层和上保温层;位于保温层结构内部的电阻加热器结构,包括侧周加热器、底部加热器和顶部加热器;位于电...
该专利属于北京中材人工晶体研究院有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过北京中材人工晶体研究院有限公司授权不得商用。

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