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低能散高亮度负氧离子产生装置制造方法及图纸
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文档序号:31314111
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本发明涉及一种低能散高亮度负氧离子产生装置,包括放电室、陶瓷窗、射频天线以及进气管道;所述放电室为一端开口,另一端封闭的腔体结构,所述放电室的开口端设置有金属法兰,所述放电室的封闭端设置有离子引出孔;所述陶瓷窗与所述金属法兰的法兰面贴合设置...
该专利属于中国科学院近代物理研究所所有,仅供学习研究参考,未经过中国科学院近代物理研究所授权不得商用。
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