下载检测光学自由曲面反射镜面形的方法及装置的技术资料

文档序号:31314002

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本发明提供一种检测光学自由曲面反射镜面形的方法,包括步骤:S1、对待测自由曲面反射镜的子孔径区域中心的空间位置进行子孔径规划;S2、通过夏克哈特曼波扫描方法获得所述待测自由曲面反射镜的全口径自由曲面检测的光斑位置;S3、以理想自由曲面面型作...
该专利属于中国科学院长春光学精密机械与物理研究所所有,仅供学习研究参考,未经过中国科学院长春光学精密机械与物理研究所授权不得商用。

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