下载陶瓷基板图形化方法的技术资料

文档序号:31310904

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本发明涉及一种陶瓷基板图形化方法,包括:A、基板表面处理,去除陶瓷基板表面的油污和杂质后,进行酸性微蚀,增加基板表面粗糙度;B、旋转匀胶,滴少量的光刻胶到基板表面,采用2000~2500rpm/5s速度动态布胶,主转速为3000~4000r...
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