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本发明涉及半导体制造技术领域，具体涉及一种液滴靶发生器振动监测装置及方法，包括液滴靶发生器，在所述液滴靶发生器的下侧布置有微孔喷嘴，还包括两组探针，沿微孔喷嘴的X轴和Y轴均设置有一组探针，所述探针上分别连接有探针臂；还包括两组激光发生器。本...
该专利属于江汉大学所有，仅供学习研究参考，未经过江汉大学授权不得商用。

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