一种液滴靶发生器振动监测装置及方法制造方法及图纸

本发明专利技术涉及半导体制造技术领域，具体涉及一种液滴靶发生器振动监测装置及方法，包括液滴靶发生器，在所述液滴靶发生器的下侧布置有微孔喷嘴，还包括两组探针，沿微孔喷嘴的X轴和Y轴均设置有一组探针，所述探针上分别连接有探针臂；还包括两组激光发生器。本发明专利技术具有的有益效果是：相比传统的摄像头监测等方法，本发明专利技术所提出的监测方法直接监测液滴靶发生器，且原子力探针的监测方式具有非常高的精度，对液滴靶发生器的横向高频运动信号具有较好的监测能力；同时原子力探针的监测方式不受被测表面温度的影响，实时的监测信号可作为液滴靶发生器振动补偿、漂移修正等装置的参考信号，能有效的增强液滴靶发生器的工作稳定性。能有效的增强液滴靶发生器的工作稳定性。能有效的增强液滴靶发生器的工作稳定性。

【技术实现步骤摘要】
一种液滴靶发生器振动监测装置及方法


[0001]本专利技术涉及半导体制造
，具体涉及一种液滴靶发生器振动监测装置及方法。

技术介绍

[0002]半导体产业一直以来致力于降低集成电路的特征尺寸，这需求发展刻蚀分辨率更高的光刻技术。拥有更短曝光波长的极紫外(Extreme ultraviolet,EUV)光源被应用到了光刻技术中，其主要采用的是中心波长为13.5nm，带宽2％的极紫外光作为光刻工艺的曝光光源。请参阅图1，其主要原理是高频脉冲激光轰击靶材，产生高温高密度的等离子体，等离子体中不断地发生着电离和复合过程并辐射出波长为13.5nm的极紫外射线。其靶材为金属锡4，通过将金属锡加热至其熔点以上，形成液态锡，随后通过微孔喷嘴向下喷出，形成锡射流；随后垂直施加高频振动，锡射流即断裂形成均匀间距的锡液滴6，将连续喷射的单个锡液滴6和激光脉冲7同步，则可以连续实现激光轰击锡液滴靶。
[0003]目前主要存在的问题是液滴靶发生器2中所施加的振源1频率为20至50兆赫兹，振动波5传递到微孔喷嘴8处存在不可控的横向漂移，这使得向下喷射的锡液滴本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种液滴靶发生器振动监测装置，包括液滴靶发生器，在所述液滴靶发生器的下侧布置有微孔喷嘴，其特征在于，还包括两组探针，沿微孔喷嘴的X轴和Y轴均设置有一组探针，所述探针上分别连接有探针臂；还包括两组激光发生器，激光发生器发射出的探测激光倾斜照射在所述探针臂上，还包括两组光电接收屏，所述探测激光经探针臂反射至所述光电接收屏上，所述光电接收屏均与计算机电连接。2.根据权利要求1所述的液滴靶发生器振动监测装置，其特征在于，所述探针为原子力探针。3.根据权利要求1所述的液滴靶发生器振动监测装置，其特征在于，所述探针为横向设置。4.根据权利要求1所述的液滴靶发生器振动监测装置，其特征在于，所述探针的尖端处朝向所述微孔喷嘴。5.根据权利要求1
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4任一所述的液滴靶发生器振动监测装置，其特征在于，所述探针与微孔喷嘴外表面之间的间隙为0.1mm
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0.15mm。6.根据权利要求5所述的液滴靶发生器振动监测装置，其特征在于，所述探针...

【专利技术属性】
技术研发人员：兰慧，漆为民，王志铭，陈子琪，齐卉，
申请(专利权)人：江汉大学，
类型：发明
国别省市：