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文档序号:31308183

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气缸(10)具备供给通路(120、132),该供给通路用于将供给到第二端口的气体的一部分供给到收容室(96)。在第一压力室的压力为规定压力以下的情况下,阀芯(92)通过弹簧部件(94)的作用力和收容室(96)的压力来切断排出流路(90)。当...
该专利属于SMC株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过SMC株式会社授权不得商用。

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