温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

半导体处理系统包括第一、第二和第三处理模块组件。第三处理模块组件在第一处理模块组件和第二处理模块组件之间，且包括用于提供要在各个处理模块组件中处理的衬底的开口。处理模块相对于开口横向地布置。第一处理模块组件和第二处理模块组件各自包括相关联的...
该专利属于ASMIP私人控股有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过ASMIP私人控股有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。