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一种用于形成金属电极结构、更具体地是含锂阳极、包括前述含锂电极的高性能电化学装置、诸如一次电化学装置和二次电化学装置的方法和设备。在一个实施方式中，所述方法包括在集电器上形成锂金属膜。所述集电器包括铜和/或不锈钢。所述方法进一步包括在所述锂...
该专利属于应用材料公司所有，仅供学习研究参考，未经过应用材料公司授权不得商用。

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