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一种晶片承载盘，包括多个凹槽；设于凹槽内的凸起结构，其中所述凸起结构是不对称的，凸起结构的凸起部分远离晶片承载盘的圆心。使得远离晶片承载盘圆心位置的衬底表面温度升高，即使得衬底凸起的位置温度与其他位置的温度分布基本相同，整个衬底表面受热更均...
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