下载半导体结构及其形成方法的技术资料

文档序号:31306266

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一种半导体结构及其形成方法,形成方法包括:提供基底;在基底上形成多个分立的核心层,核心层的延伸方向为第一方向,与第一方向相垂直的方向为第二方向;形成覆盖核心层侧壁的侧墙层;在基底上形成图形传递层,图形传递层覆盖侧墙层的侧壁;在第二方向上,在...
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