下载可改变结构的等离子体源线圈及其调整方法的技术资料

文档序号:31305961

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本发明涉及一种可改变结构的等离子体源线圈及其调整方法。可改变结构的等离子体源线圈包括基于中心部位(CP)以螺旋形状延伸的多个线圈分支(11_1至12_M),并且可以调节至少一个线圈分支(11_1至12_M)的延伸方向或延伸方向上的倾斜度。向...
该专利属于自适应等离子体技术公司所有,仅供学习研究参考,未经过自适应等离子体技术公司授权不得商用。

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