下载一种蒸镀装置的技术资料

文档序号:31286664

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本实用新型公开一种蒸镀装置,包括一真空腔室,所述真空腔室内具有若干个相互独立的工位,所述工位上转动连接有多个蒸发源,所述蒸发源包括可加热的容器和对容器进行加热的电加热器,所述工位上还具有供电件,所述供电件包括第一导电部和第二导电部,所述第一...
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