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基于光电探测器阵列的位移传感器制造技术
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下载基于光电探测器阵列的位移传感器的技术资料
文档序号:31285891
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本实用新型提供了一种基于光电探测器阵列的位移传感器,包括:反射镜一,用于接收激光束一被三角波反射镜的第一反射面反射的激光束,且使其沿同一路径反射至三角波反射镜的第二反射面;光偏转器一,用于使接收到的激光束的入射角度在设定角度区间内偏转;光电...
该专利属于北方民族大学所有,仅供学习研究参考,未经过北方民族大学授权不得商用。
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