基于光电探测器阵列的位移传感器制造技术

本实用新型专利技术提供了一种基于光电探测器阵列的位移传感器，包括：反射镜一，用于接收激光束一被三角波反射镜的第一反射面反射的激光束，且使其沿同一路径反射至三角波反射镜的第二反射面；光偏转器一，用于使接收到的激光束的入射角度在设定角度区间内偏转；光电探测器一阵列，包括多个光电探测器一，多个光电探测器一之间间隔设置，光电探测器一用于接收经光偏转器一偏转后的激光束；处理系统，用于根据光电探测器一接收到激光束的时间、光电探测器一与光偏转器一的垂直距离、光电探测器一之间的间距、及光偏转器一的偏转速度，计算出被测物体的位移变化值。本实用新型专利技术可以提高位移传感器的测量精度。感器的测量精度。感器的测量精度。

【技术实现步骤摘要】
基于光电探测器阵列的位移传感器


[0001]本技术涉及测量
，特别涉及一种基于光电探测器阵列的位移传感器。

技术介绍

[0002]基于光学三角放大法的位移测量新原理，是在光学三角放大法的基础上，结合三角波光学器件与高精度光电三极管(Position Seitive Device，位置灵敏探测器，也称光电探测器)实现的。如图4所示的一种位移传感器，利用光偏转器使反射激光束发生偏转，且在一个偏转周期内两次被接收产生时间差，随着移动的进行，一个光电探测器接收到反射激光束的时间差变大，而另一个电探测器接收到反射激光束的时间差变小，根据时间差及偏转角度即可测算出位移量。该结构通过两个光电探测器的时间测量结果实现了差分放大测量，但是该方案中存在非线性误差，且对时间的均匀性要求也较高。

技术实现思路

[0003]本技术的目的在于提供一种可以提高测量精度的基于光电探测器阵列的位移传感器，以降低非线性误差的影响，进一步提高测量精度。
[0004]为了实现上述目的，本技术提供以下技术方案：
[0005]一种基于光电探测器阵列的位移本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种基于光电探测器阵列的位移传感器，其特征在于，包括：三角波反射镜，包括第一反射面和第二反射面；激光束一，入射至三角波反射镜的第一反射面；反射镜一，用于接收激光束一被三角波反射镜的第一反射面反射的激光束，且使该激光束在激光束一入射至同一个第一反射面的测量过程中，沿同一路径反射至三角波反射镜的第二反射面；光偏转器一，用于使三角波反射镜的第二反射面反射的激光束的入射角度在设定角度区间内偏转；光电探测器一阵列，包括多个光电探测器一，多个光电探测器一之间间隔设置，光电探测器一用于接收经光偏转器一偏转后的激光束；处理系统，用于根据光电探测器一接收到激光束的时间、光电探测器一与光偏转器一的垂直距离、光电探测器一之间的间距、及光偏转器一的偏转速度，计算出被测物体的位移变化值。2.根据权利要求1所述的一种基于光电探测器阵列的位移传感器，其特征在于，每相邻两个光电探测器一之间的间距相等。3.根据权利要求1所述的一种基于光电探测器阵列的位移传感器，其特征在于，反射镜一平行于第一反射面，同时平行于第二反射面，激光束一与第一反射面的锐角夹角等于两倍第一反射面与水平面的夹角。4.根据权利要求1所述的一种基于光电探测器阵列的位移传感器，其特征在于，还包括壳体，激光束一由激光源一发射得到，激光源一、反射镜一、光电探测器一均固定设置于壳体内，组成测头。5.根据权利要求1
‑
4任一所述的基于光电探测器阵列的位移传感器，其特征在于，还包括：激光束二，入射至三角波反射镜的第一反射面，且激光束一与激光束二分...

【专利技术属性】
技术研发人员：张白，唐鑫祥，高峰，高洋，
申请(专利权)人：北方民族大学，
类型：新型
国别省市：