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本实用新型涉及光刻机技术领域，更具体地说，它涉及一种光刻机及其可精准对位曝光机构，其中，曝光机构包括上模板、下模板、晶圆支撑板、掩膜安装板、调正驱动机构以及调平驱动机构；掩膜安装板可浮动地安装在上模板上，使掩膜安装板的各边角之间可相对升降；...
该专利属于东莞王氏港建机械有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过东莞王氏港建机械有限公司授权不得商用。

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