下载一种喷射式蚀刻槽的技术资料

文档序号:31280512

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本实用新型涉及一种喷射式蚀刻槽,包括蚀刻槽本体、槽体、下部回液箱和喷射泵,所述的蚀刻槽本体上端面上设置有槽体,所述的蚀刻槽本体上端外圈上设置有若干喷射座,所述的喷射座上设置有可变喷射管,所述的可变喷射管上设置有朝向槽体内部两端处的喷嘴,所述...
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