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一种微波/射频微机械开关及其制备方法技术
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文档序号:3127231
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一种微波/射频微机械开关,它包括:锚位(1),基底(2),信号线(5),悬臂梁(6),接触金属层(7),信号线(8),其特征是它还包括外加磁场导线(9)、磁致伸缩层(10);在基底(2)上为锚位(1)、外加磁场导线(9)以及信号线(5)和(...
该专利属于电子科技大学所有,仅供学习研究参考,未经过电子科技大学授权不得商用。
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