一种微波/射频微机械开关及其制备方法技术

一种微波／射频微机械开关，它包括：锚位（１），基底（２），信号线（５），悬臂梁（６），接触金属层（７），信号线（８），其特征是它还包括外加磁场导线（９）、磁致伸缩层（１０）；在基底（２）上为锚位（１）、外加磁场导线（９）以及信号线（５）和（８）平行排列；悬臂梁（６）的固定端在锚位（１）上，悬空部分位于外加磁场导线（９）以及信号线（５）和（８）正上方；磁悬臂梁（６）上为磁致伸缩层（１０）；接触金属层（７）位于悬臂梁（６）悬空部分的正下方。（*该技术在2023年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本专利技术属于电子
，特别涉及微波/射频器件领域。
技术介绍
随着微波或射频通讯技术快速发展，为提高子系统、整机的性能和集成度，降低成本，对微波/射频无源器件有着迫切的需求。微机械(MEMS)微波/射频器件是最近MEMS领域的研究热点，它充分利用了微电子和微机械技术的优势，将微机械技术运用于微波/射频领域，成为一类新型的微波/射频元件。微波/射频微机械开关和传统的微波元件如PIN微波开关相比，具有低损耗、高隔离、体积小、制造成本低、易于与IC兼容和可靠性高等优点[见文献1～5]。微波/射频微机械开关的执行机制有两种静电作用和电磁作用。静电作用的优点是无需工作电流，因而功耗低，但执行电压高，通常大于20V[见文献4，6]。电磁作用的优点是执行电压低，但需要较大的工作电流，因而功耗较大。目前正在试用的大多为静电驱动型微波/射频微机械开关，如图1所示，其驱动电压高、响应时间长(毫秒级)[7]，限制了子系统集成度的进一步提高及其应用领域，因此开展低电流、低电压驱动型微波/射频微机械开关研究对系统的小型化、集成化有着十分重要的意义。磁致伸缩效应由于具有大形变(几百ppm)、低驱动电压本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种微波/射频微机械开关，它包括锚位(1)，基底(2)，信号线(5)，悬臂梁(6)，接触金属层(7)，信号线(8)，，其特征是它还包括外加磁场导线(9)、磁致伸缩层(10)；在基底(2)上为锚位(1)、外加磁场导线(9)以及信号线(5)和(8)平行排列；悬臂梁(6)的固定端在锚位(1)上，悬空部分位于外加磁场导线(9)以及信号线(5)和(8)正上方；磁悬臂梁(6)上为磁致伸缩层(10)；接触金属层(7)位于悬臂梁(6)悬空部分的正下方。2.根据权利要求1所述的一种微波/射频微机械开关，其特征是所述的磁致伸缩层10可以采用TbFe(铽铁)磁致伸缩薄膜、TbDyFe(铽镝铁)磁致伸缩薄膜，也可以采用TbFe/Fe(铽铁/铁)磁致伸缩多层膜、TbDyFe/Fe(铽镝铁/铁)磁致伸缩多层膜。3.据权利要求1所述的一种微波/射频微机械开关，其特征是所述的外加磁场导线9可采用金、银、铂等导电性良好的金属。4.根据权利要求1所述的一种微波/射频微机械开关，...

【专利技术属性】
技术研发人员：张万里，蒋洪川，彭斌，张文旭，杨仕清，张金平，
申请(专利权)人：电子科技大学，
类型：发明
国别省市：