下载基板检查系统的技术资料

文档序号:31267095

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一种基板检查系统,包括:检查设备,用于对基板进行检查,所述检查设备上具有一组相对设置的第一定位杆;基板搬运小车,用于从所述检查设备取、放基板以及运送基板,所述基板搬运小车包括一对平行设置的移动底架,所述移动底架相对的侧壁上设置有若干导向轮,...
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