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基板检查系统技术方案
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文档序号:31267095
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一种基板检查系统,包括:检查设备,用于对基板进行检查,所述检查设备上具有一组相对设置的第一定位杆;基板搬运小车,用于从所述检查设备取、放基板以及运送基板,所述基板搬运小车包括一对平行设置的移动底架,所述移动底架相对的侧壁上设置有若干导向轮,...
该专利属于昆山仪电显示材料有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过昆山仪电显示材料有限公司授权不得商用。
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