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本实用新型公开了一种集成电路芯片制造离子注入设备，涉及集成电路芯片制造技术领域，该集成电路芯片制造离子注入设备包括防尘壳，防尘壳与工作台固定连接，工作台与支撑柱固定连接，支撑柱与感应头固定连接，支撑柱与操作箱固定连接，操作箱内固定安装有感应...
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