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本申请涉及特种电源技术领域，特别地涉及一种中频方波等离子体激发电源，包括：电压调整模块、应力吸收与预输出电路、逆变与输出模块；其中，所述电压调整模块的输入端与外界输入信号连接，所述电压调整模块、所述应力吸收与预输出电路、所述逆变与输出模块依...
该专利属于固赢科技（深圳）有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过固赢科技（深圳）有限公司授权不得商用。

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