一种中频方波等离子体激发电源制造技术

本申请涉及特种电源技术领域，特别地涉及一种中频方波等离子体激发电源，包括：电压调整模块、应力吸收与预输出电路、逆变与输出模块；其中，所述电压调整模块的输入端与外界输入信号连接，所述电压调整模块、所述应力吸收与预输出电路、所述逆变与输出模块依次电性连接；输入信号通过电压调整模块输入调整电压，经由逆变与输出模块逆变为交流电，并由应力吸收与预输出电路前端的尖峰电压稳定下一周期的逆变器输入电压。本申请中，输入信号通过电压调整模块输入调整电压，经由逆变与输出模块逆变为交流电输出方波，同时应力吸收与预输出电路吸收逆变与输出模块输入电压应力端，提高了安全性能，延长了使用寿命。延长了使用寿命。延长了使用寿命。

【技术实现步骤摘要】
一种中频方波等离子体激发电源


[0001]本申请涉及特种电源
，特别地涉及一种中频方波等离子体激发电源。

技术介绍

[0002]特种电源即特殊种类的电源，其主要是输出电压特别高，输出电流特别大，或者对稳定度、动态响应及纹波要求特别高，或者要求电源输出的电压或电流是脉冲或其它一些要求。这就使得在设计及生产此类电源时有比普通电源更特殊甚至更严格的要求。目前国产等离子体激发电源即为特种电源的一种。
[0003]在特定容器里，注入特定的混合气体，在特定高压与高温的条件下，外加特定的电场使该气体放电，气体放电可以产生等离子体，被外加电场加速的部分电离气体中的电子与中性分子发生碰撞，把从电场得到的能量传给气体，电子与中性分子的弹性碰撞导致分子动能增加，表现为温度升高；而非弹性碰撞则导致激发(分子或原子中的电子由低能级跃迁到高能级)、离解(分子分解为原子)或电离(分子或原子的外层电子由束缚态变为自由电子)，高温气体通过传导、对流与辐射把能量传给周围环境。在特定条件下，给定容积中输入能量与损失能量相等，电子与重粒子(离子、分子与原子)间能量传递的本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种中频方波等离子体激发电源，其特征在于，包括：电压调整模块、应力吸收与预输出电路、逆变与输出模块；其中，所述电压调整模块的输入端与外界输入信号连接，所述电压调整模块、所述应力吸收与预输出电路、所述逆变与输出模块依次连接；输入信号通过电压调整模块输入调整电压，经由逆变与输出模块逆变为交流电并输出方波，并由应力吸收与预输出电路吸收逆变与输出模块电压应力，该电压应力并为输出的下一周期提供稳定的电压。2.根据权利要求1所述的中频方波等离子体激发电源，其特征在于，所述电压调整模块包括至少两个以上且并联相连的电压调整电路。3.根据权利要求1所述的中频方波等离子体激发电源，其特征在于，所述逆变与输出模块包括至少两个以上且并联相连的逆变与输出电路。4.根据权利要求2所述的中频方波等离子体激发电源，其特征在于，所述电压调整电路包括：包括二极管D1、整流管Q1
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sr、电感L1
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a、MOS管Q1；所述二极管D1的负极与电容C1的一端电性连接，所述二极管D1的正极与所述电感L1
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a的一端、所述MOS管Q1的漏极电性连接，所述电感L1
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a的另一端与所述应力吸收与预输出电路、所述逆变与输出模块电性连接，所述MOS管Q1的源极与所述应力吸收与预输出电路电性连接，所述MOS管Q1的栅极接外界信号；所述整流管Q1
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sr的源极与所述二极管D1的正极电性连接，所述整流管Q1
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sr的漏极与二极管D1的负极电性连接，所述整流管Q1
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sr的栅极接外界信号。5.根据权利要求4所述的中频方波等离子体激发电源，其特征在于，所述逆变与输出电路包括；MOS管Q5、MOS管Q6、MOS管Q7、MOS管Q8、电感L2、电阻R1；其中，所述MOS...

【专利技术属性】
技术研发人员：刘力，张小彬，
申请(专利权)人：固赢科技深圳有限公司，
类型：发明
国别省市：