下载晶圆制备的控制方法及其装置的技术资料

文档序号:31238606

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本申请提供一种晶圆制备的控制方法及其装置。该方法包括响应第一在制品的制备派工指令,基于晶圆制备所使用的实时派工系统从晶圆制备信息库中获取第一在制品在当前站点的制备流程对应的第一有效设备数量,并获取第一有效设备最大负载量,晶圆制备信息库中包括...
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