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本发明涉及一种滤光片镀膜装置及镀膜工艺，装置包括腔室，腔室内安装有溅射发生器以及载具，溅射发生器包括放电电极与定位座，定位座内设有多个定位通道，各定位通道内设置有靶材，定位通道始端连接放电电极，载具包括工作盘、旋转机构以及支座，工作盘上端面...
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