下载具有设定和锁存电极的MEMS开关的技术资料

文档序号:3123828

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本发明提供一种MEMS装置,其以跨越第一电极(702)和可移动材料(714)安置的电压电激活。所述装置可通过与所述第一电极分隔的锁存电极(730a、730b)而维持在激活状态。...
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