【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术的领域涉及微机电系统(MEMS)。
技术介绍
微机电系统(MEMS)包含微机械元件、激活器和电子元件。可使用沉积、蚀刻和 /或其它蚀刻掉衬底和/或已沉积材料层的部分或者添加层以形成电装置和机电装置的微 加工工艺来产生微机械元件。 一种类型的MEMS装置称为干涉式调制器。如本文所使 用，术语干涉式调制器或干涉式光调制器指的是一种使用光学干涉原理选择性地吸收且 /或反射光的装置。在某些实施例中，干涉式调制器可包括一对导电板，其中之一或两者 可能整体或部分透明且/或具有反射性，且能够在施加适当电信号时进行相对运动。在特 定实施例中， 一个板可包括沉积在衬底上的固定层，且另一个板可包括通过气隙与固定 层分离的金属薄膜。如本文更详细描述， 一个板相对于另一个板的位置可改变入射在干 涉式调制器上的光的光学干涉。这些装置具有广范围的应用，且在此项技术中，利用且 /或修改这些类型装置的特性使得其特征可被发掘用于改进现有产品和创建尚未开发的 新产品，将是有益的。
技术实现思路
本专利技术的系统、方法和装置每一者均具有若干方面，其中任何单个方面均不仅仅负 责其期望的属性。...
【技术保护点】
一种ＭＥＭＳ装置，其包括： 衬底； 至少两个支柱，其由所述衬底支撑； 至少两个电隔离的电极，其由所述衬底支撑且定位于所述支柱之间； 可移动电极，其由所述支柱支撑在所述衬底上；以及 至少两个开关端子，其取决于所述可移动电极的位置而可选择地连接。
【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】1.一种MEMS装置，其包括衬底；至少两个支柱，其由所述衬底支撑；至少两个电隔离的电极，其由所述衬底支撑且定位于所述支柱之间；可移动电极，其由所述支柱支撑在所述衬底上；以及至少两个开关端子，其取决于所述可移动电极的位置而可选择地连接。2. 根据权利要求1所述的MEMS装置，其中所述电极中的一者被置于所述至少两个 支柱之间的中央区域中。3. 根据权利要求2所述的MEMS装置，其中所述电极中的至少一者定位于所述中央 区域与所述支柱中的一者之间。4. 根据权利要求2所述的MEMS装置，其中所述电极中的至少一者定位于所述开关 端子中的一者与所述支柱中的一者之间。5. 根据权利要求1所述的MEMS装置，其包括位于所述装置的中央区域中的第一电 极，以及位于所述第一电极任一侧上且与所述第一电极电隔离的至少一个第二电 极。6. 根据权利要求1所述的MEMS装置，其中所述开关端子由所述衬底支撑。7. 根据权利要求4所述的MEMS装置，其中当所述可移动电极定位于接近所述衬底 处时，所述开关端子是连接的。8. —种显示系统，其包括-MEMS显示元件阵列；一个或一个以上MEMS开关，其耦合到所述阵列，其中所述MEMS开关中的至 少一者包括 衬底；至少两个支柱，其由所述衬底支撑；至少两个电隔离的电极，其由所述衬底支撑且定位于所述支柱之间； 可移动电极，其由所述支柱支撑在所述衬底上；以及 至少两个开关端子，其取决于所述可移动电极的位置而可选择地连接。9. 根据权利要求8所述的显示系统，其另外包括耦合到所述阵列的驱动器电路。10. 根据权利要求8所述的显示系统，其进一步包括处理器，其与所述显示器电连通，所述处理器经配置以处理图像数据；以及 存储器装置，其与所述处理器电连通。11. 根据权利要求9所述的装置，其中所述驱动器电路经配置以将至少一个信号发送到 所述显示器。12. 根...
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