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本发明公开了基于放电出光时间差的激光器状态监控系统，能够测量放电信号和出光信号之间的放电出光时间差。基于本发明监控系统，通过固定放电电压，改变腔内气体状态即改变腔内气体的卤素含量，分别测量不同卤素含量所对应的放电出光时间差，从而得到该放电电...
该专利属于中国科学院合肥物质科学研究院所有，仅供学习研究参考，未经过中国科学院合肥物质科学研究院授权不得商用。

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