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本公开的实施例涉及在紧凑建模中校准随机信号。通过以下各项提供在紧凑建模时校准随机信号：获得生产抗蚀剂掩模时过程变化的数据；基于数据来校准抗蚀剂掩模的连续紧凑模型；针对基于数据的随机紧凑模型评估连续紧凑模型；选取随机紧凑模型的边缘位置分布的功...
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