下载喷淋板、基板处理装置及基板处理方法的技术资料

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一种喷淋板的示例包括:具有多个通孔的板状导体的主体部分,该主体部分在下表面的至少一部分上设置有表面处理部分,该表面处理部分已经过表面处理,从而使得在下表面上存在具有不同发射率的两个或更多个区域;以及围绕主体部分的凸缘。部分的凸缘。部分的凸缘...
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