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本发明涉及一种用于脉冲激光沉积的装置，包括具有基板表面的基板和具有靶表面的靶，还包括：基板保持器，用于保持基板；靶保持器，用于保持靶，靶有面对基板表面的靶表面；速度过滤器，其布置在基板保持器和靶保持器之间，速度过滤器包括旋转的大致盘形本体，...
该专利属于索尔玛特斯有限责任公司所有，仅供学习研究参考，未经过索尔玛特斯有限责任公司授权不得商用。

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