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振动元件制造技术
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文档序号:31230337
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本发明提供一种振动元件,既能抑制制造工序复杂化,又能抑制可动部产生摆动以外的位移。所述振动元件包括:可动部;金属制的基板,包含各自具有第一端部及第二端部的一对支撑梁部、支撑第一端部的支撑部、以及可摆动地支撑可动部的扭力梁部;驱动源;以及保持...
该专利属于船井电机株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过船井电机株式会社授权不得商用。
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