下载一类含硅快速图形化嵌段共聚物的制备和应用方法的技术资料

文档序号:31230301

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本发明涉高分子材料技术领域,具体涉及一种组装尺寸和组装形貌高度可控且PDI较小的含硅快速图形化嵌段共聚物,以及该含硅快速图形化嵌段共聚物的制备方法和作为复合图形化材料的应用。本发明设计合成了一类同时具有超高分辨率、高刻蚀对比度且可在低温下快...
该专利属于复旦大学所有,仅供学习研究参考,未经过复旦大学授权不得商用。

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