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使用成像反射计测量来检测样本上的局部倾斜区域的方法包括：在不阻挡从样本反射的任何光的情况下获得第一图像，以及在孔径平面处阻挡从样本反射的一些光时获得第二图像。通过将第一图像中像素的第一反射强度值与第二图像中对应像素的第二反射强度值进行比较来...
该专利属于应用材料公司所有，仅供学习研究参考，未经过应用材料公司授权不得商用。

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