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本发明涉及基板检测装置,即使在收纳容器的形状未被规格化的情况或者基板的形状为方形基板的情况中的任一情况下，也能够检测基板，容易地获取基板信息。该基板检测装置具备：载置部，载置供多个基板沿上下方向排列收纳的收纳容器；传感器保持部，与载置部相对...
该专利属于东京应化工业株式会社所有，仅供学习研究参考，未经过东京应化工业株式会社授权不得商用。

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